国产EUV光刻机原型机完成，2030年或迎突破
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据消息人士透露，深圳团队已于2025年初完成一台EUV光刻机原型机的建造，该设备目前正处于测试阶段，尚未生产出可用芯片。消息称，政府设定的实用化目标是2028年，但分析认为2030年实现的可能性更大。一、行业认知光刻机是半导体制造的核心设备，被誉为“工业皇冠上的明珠”，直接决定芯片的制程精度与良率。随着全球半导体技术向7nm、5nm及以下先进节点演进，光刻机的技术壁垒持续提升，尤其是EUV（极紫外 ...
据消息人士透露，深圳团队已于2025年初完成一台EUV光刻机原型机的建造，该设备目前正处于测试阶段，尚未生产出可用芯片。消息称，政府设定的实用化目标是2028年，但分析认为2030年实现的可能性更大。
一、行业认知
光刻机是半导体制造的核心设备，被誉为“工业皇冠上的明珠”，直接决定芯片的制程精度与良率。随着全球半导体技术向7nm、5nm及以下先进节点演进，光刻机的技术壁垒持续提升，尤其是EUV（极紫外）光刻机成为高端芯片生产的关键瓶颈。当前，国内在光刻机领域正加速推进国产替代进程，围绕极紫外光刻机、激光直写光刻机、光学系统、核心部件、镀膜与清洗设备等环节布局全产业链。上海微电子作为国内光刻机龙头企业，已实现28nm工艺光刻机量产，并持续推进更先进节点研发，带动上下游配套企业快速发展。
二、产业链及上市公司梳理
1. 极紫外光刻机
- 张江高科：间接持股上海微电子10.779%的股份。
- 东方明珠：间接持股上海微电子1.73%的股份。
- 上海电气：上海电气控股集团持股公司股份比例第一，41.09%；上海电气控股集团为上海微电子第一大股东直接持股32.08%。
- 电气风电：上海电气控股集团持股公司股份比例第二，26.94%；同上。
- 海立股份：上海电气控股集团持股公司股份比例第三，26.41%；同上。
- 上海机电：上海电气控股集团持股公司股份比例第四，19.73%；同上。
- 赢合科技：上海电气控股集团持股公司股份比例第五，11.67%；同上。
- 华建集团：上海国有资本投资公司持股公司股份比例30.98%；上海国有资本投资公司穿透后为上海微电子第二大股东，持股13.27%。
2. 长春光机所
- 奥普光电：长春光机所唯一上市平台。
3. 宇星昇
- 波长光电：供应非物镜镜片（照明系统、激光器光源、工台量测镜片等）。
- 永新光学：供应EUV + DUV镜片、镜头模组。
- 美利信：子公司渝莱昇供应精密机械臂基座、真空腔体等核心零部件。
4. 激光直写光刻机
- 苏大维格：公司研产销各类激光直写光刻机和纳米压印光刻机。
- 芯碁微装：半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机。
5. 光源上游
- 福晶科技：BBO晶体市占率全球第一，为激光器上游材料。
- 茂莱光学：精密光学器件供货上海微电子。
- 永新光学：光刻机镜头可应用于PCB光刻设备。
6. 光学系统
- 波长光电：光刻机平行光源系统。
- 福光股份：为高端装备（如光刻机）等领域提供高精密的光学镜头和光学系统。
- 联合化学：参股公司卓光芮的全资子公司罡景高端光学系统（物镜及照明系统）应用于前道KrF和iLine光刻机，预计25年Q4开始交付。
- 七匹狼：公司控股股东持股科益虹源1.45%，后者是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司。
- 赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
7. 光学器件
- 炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；公司收购的瑞士公司为SMI供应用于其光刻制程设备的微透镜阵列。
- 苏大维格：曾向上海微电子供货半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。
- 腾景科技：多波段分束器已进入微电子供应链。
- 万方科技：子公司向ASML供应光路零部件。
- 京华激光：控股美国公司从事光学制版用光刻机的研发工作，不具备改进升级为芯片光刻机可能。
- 锐科激光：公司在售的深紫外激光器为波长213nm的深紫外激光器，可主要应用于DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等。
8. 静电吸盘
- 江丰电子：突破静电吸盘（超洁净晶圆片承载体，用于光刻机）技术瓶颈。
9. 真空腔体
- 宝光股份：GK金属化陶瓷真空腔体已供应新凯来。
10. 防雷产品
- 中光防雷：高性能超大通流T1ACSPD（浪涌保护器），已在样品阶段。
11. 控制器
- 电科数字：公司可供货光刻机控制器。
12. 其他零部件
- 富创精密：半导体零部件营收占比88.61%。
- 新莱应材：半导体零部件营收占比30.21%。
- 华亚智能：光刻机设备精密金属结构件。
- 百傲化学：参股企业芯慧联芯自研的首台D2W混合键合设备和W2W混合键合设备，可逾过3D IC技术弥补光刻机制程的不足。
13. 镀膜设备
- 汇成真空：光刻掩膜版镀膜设备。
- 蓝英装备：为ASML提供精密清洗解决方案。
14. 洁净、清洗设备
- 金力泰：子公司曾为上海微电子光刻机设备零部件的表面处理供应商。
- 安达智能：控股子公司安动半导体主要产品包括：微波去胶机、射频去胶机、等离子清洗机等。
- 美埃科技：公司为上海微电子提供EFU（超薄型设备自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品。
15. 温控
- 同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机。
- 海立股份：子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统。
16. 保税仓库
- 东方嘉盛：建设光刻机寄售维修保税仓库。
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