华为中芯国际突破芯片技术,光刻机产业链龙头股全解析
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根据最新的行业报告,华为和中芯国际在芯片设计与制造领域确实取得了显著进展,这些突破集中体现在先进制程的突破、系统架构的创新以及市场格局的重塑上。一、行业认知光刻机是半导体制造的核心设备,用于将电路图案精确转移至硅片上。随着先进制程向7nm及以下演进,光刻技术持续升级,极紫外(EUV)光刻成为关键突破方向。产业链涵盖上游核心零部件(如光源、光学系统、镜头、控制部件)、中游整机制造(以ASML为主导) ...
根据最新的行业报告,华为和中芯国际在芯片设计与制造领域确实取得了显著进展,这些突破集中体现在先进制程的突破、系统架构的创新以及市场格局的重塑上。
一、行业认知
光刻机是半导体制造的核心设备,用于将电路图案精确转移至硅片上。随着先进制程向7nm及以下演进,光刻技术持续升级,极紫外(EUV)光刻成为关键突破方向。产业链涵盖上游核心零部件(如光源、光学系统、镜头、控制部件)、中游整机制造(以ASML为主导),以及下游配套设备(如镀膜、清洗、温控等)。中国在光刻机领域正加速国产替代进程,重点布局在DUV光刻机、核心零部件及配套设备环节。
二、产业链及上市公司梳理
1. 极紫外光刻机
- 张江高科:间接持股上海微电子10.779%的股份。
- 东方明珠:间接持股上海微电子1.73%的股份。
- 上海电气:上海电气控股集团持股公司股份比例第一,41.09%;上海电气控股集团为上海微电子第一大股东直接持股32.08%。
- 电气风电:上海电气控股集团持股公司股份比例第二,26.94%;同上。
- 海立股份:上海电气控股集团持股公司股份比例第三,26.41%;同上。
- 上海机电:上海电气控股集团持股公司股份比例第四,19.73%;同上。
- 赢合科技:上海电气控股集团持股公司股份比例第五,11.67%;同上。
- 华建集团:上海国有资本投资公司持股公司股份比例30.98%;上海国有资本投资公司穿透后为上海微电子第二大股东,持股13.27%。
2. 部件
(1)长春光机所
- 奥普光电:长春光机所唯一上市平台。
(2)宇星昇
- 波长光电:供应非物镜镜片(照明系统、激光器光源、工台量测镜片等)。
- 永新光学:供应EUV+DUV镜片、镜头模组。
- 美利信:子公司渝莱昇供应精密机械臂基座、真空腔体等核心零部件。
(3)激光直写光刻机
- 苏大维格:公司研产销各类激光直写光刻机和纳米压印光刻机。
- 芯碁微装:半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机。
(4)光源上游
- 福晶科技:BBO晶体市占率全球第一,为激光器上游材料。
- 茂莱光学:精密光学器件供货上海微电子。
(5)光学系统
- 永新光学:光刻机镜头可应用于PCB光刻设备。
- 波长光电:光刻机平行光源系统。
- 福光股份:为高端装备(如光刻机)等领域提供高精密的光学镜头和光学系统。
- 联合化学:公司应用干前道KrF和giline光刻机,预计25年Q4开始交付。
- 七匹狼:公司控股股东持股科益虹源1.45%,后者是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司。
- 赛微电子:光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
(6)光学器件
- 炬光科技:提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器;公司收购的瑞士公司为SMIT供应用于其光刻制程设备的微透镜阵列。
- 苏大维格:曾向上海微电子供货半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。
- 腾景科技:多波段分束器已进入微电子供应链。
- 京方科技:子公司向ASML供应光路零部件。
- 京华激光:控股美国公司从事光学制版用光刻机的研发工作,不具备改进升级为芯片光刻机可能。
- 锐科激光:公司在售的深紫外激光器为波长213nm的深紫外激光器,可主要应用于DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等。
(7)静电吸盘
- 江丰电子:突破静电吸盘(超洁净晶圆片承载体,用于光刻机)技术瓶颈。
(8)真空腔体
- 宝光股份:GK金属化陶瓷真空腔体已供应新凯来。
(9)防震产品
- 中光防雷:高性能超大通流T1ACSPD(浪涌保护器),已在样品阶段。
(10)控制器
- 电科数字:子公司可供货光刻机控制器。
(11)其他零部件
- 富创精密:半导体零部件营收占比88.61%。
- 新莱应材:半导体零部件营收占比30.21%。
- 华亚智能:光刻机设备精密金属结构件。
- 百傲化学:参股企业芯慧联芯自研的首台D2W混合键合设备和W2W混合键合设备,可逾过3D IC技术弥补光刻机制程的不足。
3. 镀膜设备
- 汇成真空:光刻掩膜版镀膜设备。
- 蓝英装备:为ASML提供精密清洗解决方案。
- 金力泰:子公司曾为上海微电子光刻机设备零部件的表面处理供应商。
4. 洁净、清洗设备
- 安达智能:控股子公司安动半导体主要产品包括微波去胶机、射频去胶机、等离子清洗机等。
- 美埃科技:公司为上海微电子提供EFU(超薄型设备自带风机过滤机组)及ULPA(超高效过滤器)等产品。
5. 温控
- 同飞股份:液体恒温设备应用于光刻机。
- 海立股份:子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统。
6. 保税仓库
- 东方嘉盛:建设光刻机寄售维修保税仓库。
🏷️ 光刻机
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