国产光刻机产业链崛起，多家A股公司深度布局
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一、行业认知2025年，随着半导体先进制程持续向7nm以下节点演进，以及光刻技术在Chiplet（芯粒）、先进封装、微纳加工等领域的广泛应用，光刻机作为集成电路制造“皇冠上的明珠”，其战略地位日益凸显。极紫外（EUV）光刻机是当前实现高精度芯片制造的核心设备，而深紫外（DUV）及非光刻类光刻设备则广泛应用于成熟制程与特种工艺场景。核心技术：涵盖光源系统（EUV/DUV）、光学系统（镜头、光栅）、掩 ...
一、行业认知
2025年，随着半导体先进制程持续向7nm以下节点演进，以及光刻技术在Chiplet（芯粒）、先进封装、微纳加工等领域的广泛应用，光刻机作为集成电路制造“皇冠上的明珠”，其战略地位日益凸显。极紫外（EUV）光刻机是当前实现高精度芯片制造的核心设备，而深紫外（DUV）及非光刻类光刻设备则广泛应用于成熟制程与特种工艺场景。
- 核心技术：涵盖光源系统（EUV/DUV）、光学系统（镜头、光栅）、掩膜版、精密控制、真空腔体、温控、洁净清洗等关键模块；
- 产业链协同：围绕“设备—零部件—材料—应用”构建完整生态，头部企业通过技术攻关、供应链配套、合作研发等方式推动国产替代进程；
- 政策驱动：国家大力支持半导体装备自主可控，推动高端光刻设备研发与产业化落地。
当前，多家上市公司已深度参与光刻机产业链建设，覆盖核心部件供应、整机集成、配套服务等多个环节，部分企业已完成技术突破或进入客户验证阶段，未来将受益于国产光刻设备技术进步与半导体产业自主化进程。
二、产业链及上市公司梳理
1. 极紫外光刻机
- 张江高科：间接持股上海微电子10.779%的股份。
- 东方明珠：间接持股上海微电子1.73%的股份。
- 上海电气：上海电气控股集团持股公司股份比例第一，41.09%；上海电气控股集团为上海微电子第一大股东，直接持股32.08%。
- 电气风电：上海电气控股集团持股公司股份比例第二，26.94%；同上。
- 海立股份：上海电气控股集团持股公司股份比例第三，26.41%；同上。
- 上海机电：上海电气控股集团持股公司股份比例第四，19.73%；同上。
- 赢合科技：上海电气控股集团持股公司股份比例第五，11.67%；同上。
- 华建集团：上海国有资本投资公司持股公司股份比例30.98%；上海国有资本投资公司拿掉后为上海微电子第二大股东，持股13.27%。
2. 长春光机所
- 奥普光电：长春光机所唯一上市平台。
3. 宇星昇
- 波长光电：供应非物镜镜片（照明系统、激光器光源、工台量测镜片等）。
- 永新光学：供应EUV+DUV镜片、镜头模组。
- 美利信：公司向渝莱昇供应精密机械臂基座、真空腔体等核心零部件。
4. 激光直写光刻机
- 苏大维格：公司研产销各类激光直写光刻机和纳米压印光刻机。
- 芯碁微装：半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机。
5. 光源上游
- 福晶科技：BBO晶体市占率全球第一，为激光器上游材料。
- 茂莱光学：精密光学器件供货上海微电子。
- 永新光学：光刻机镜头可应用于PCB划线设备。
- 波长光电：光刻机平行光源系统。
- 福光股份：高端装备（如光刻机）等领域提供高精密的光学镜头和光学系统。
- 联合化学：参股公司卓光芮的全资子公司罡景高端光学系统（物镜及照明系统）应用于前道KrF和i-line光刻机，预计25年Q4开始交付。
- 七匹狼：公司控股股东持股科益虹源1.45%，后者是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司。
- 赛微电子：光刻机厂商的MEMS透明器件供应商。
6. 光学器件
- 炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；公司收购的瑞士公司为SMIT供应用于其光刻制程设备的微透镜阵列。
- 苏大维格：曾向上海微电子供货半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。
- 腾景科技：多波段分束器已进入微电子供应链。
- 晶方科技：子公司向ASML供货光路零部件。
- 京华激光：控股美国公司从事光学制版用光刻机的研发工作，不具备改进升级为芯片光刻机可能。
- 锐科激光：公司在售的深紫外激光器为波长213nm的深紫外激光器，可主要应用于DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等。
7. 静电吸盘
- 江丰电子：突破静电吸盘（超洁净晶圆片承载体，用于光刻机）技术瓶颈。
8. 真空腔体
- 宝光股份：GK金属化陶瓷真空腔体已供应新凯来。
9. 防雷产品
- 中光防雷：高性能超大通流T1ACSPD（浪涌保护器），已在样品阶段。
10. 控制器
- 电科数字：公司可供货光刻机控制器。
11. 其他零部件
- 富创精密：半导体零部件营收占比88.61%。
- 新莱应材：半导体零部件营收占比30.21%。
- 华亚智能：光刻机设备精密金属结构件。
- 百傲化学：参股企业芯慧联芯自研的首台D2W混合键合设备和W2W混合键合设备，可通补3D IC技术弥补光刻机制程的不足。
12. 镀膜设备
- 汇成真空：光刻掩膜版镀膜设备。
- 蓝英装备：为ASML提供精密清洗解决方案。
- 金力泰：子公司曾为上海微电子光刻机设备零部件的表面处理供应商。
13. 洁净、清洗设备
- 安达智能：控股子公司安动半导体主要产品包括：微波去胶机、射频去胶机、等离子清洗机等。
- 美埃科技：公司为上海微电子提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品。
14. 温控
- 同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机。
- 海立股份：子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统。
15. 保税仓库
- 东方嘉盛：建设光刻机寄售维修保税仓库。
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