上海微电子中标1.1亿光刻机项目，产业链相关公司受益显著
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上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）以约1.1亿元（精确为10999.985万元）中标了一台步进扫描式光刻机。该项目的采购方为科学技术部下属的LGGJ实验室。一、行业认知上海微电子（SMEE）作为中国半导体设备领域的龙头企业，专注于光刻机的研发与制造，是国产高端光刻设备实现自主可控的关键力量。其28nm工艺光刻机已实现批量交付，正在攻关14nm及以下节点技术，推动中国半导体产业链“卡脖子 ...
上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）以约1.1亿元（精确为10999.985万元）中标了一台步进扫描式光刻机。该项目的采购方为科学技术部下属的LGGJ实验室。
一、行业认知
上海微电子（SMEE）作为中国半导体设备领域的龙头企业，专注于光刻机的研发与制造，是国产高端光刻设备实现自主可控的关键力量。其28nm工艺光刻机已实现批量交付，正在攻关14nm及以下节点技术，推动中国半导体产业链“卡脖子”环节突破。随着国内晶圆厂扩产加速，尤其是成熟制程产能持续扩张，对光刻设备需求旺盛。上海微电子在光刻机核心部件、光学系统、精密控制、检测校准等领域构建了完整供应链生态，带动上游材料、零部件、配套设备企业深度参与。当前，光源系统、光学镜头、精密运动平台、掩模版、清洗封装等关键环节成为投资焦点。
二、产业链及上市公司梳理
1. 参股
- 张江高科：间接持股上海微电子 10.779%的股份。
- 东方明珠：间接持股上海微电子 1.73%的股份。
- 上海电气：上海电气控股集团持股公司股份比例第一，41.09%；上海电气控股集团为上海微电子第一大股东直接持股32.08%。
- 电气风电：上海电气控股集团持股公司股份比例第二，26.94%；同上。
- 海立股份：上海电气控股集团持股公司股份比例第三，26.41%；同上。
- 上海机电：上海电气控股集团持股公司股份比例第四，19.73%；同上。
- 赢合科技：上海电气控股集团持股公司股份比例第五，11.67%；同上。
2. 供货
- 波长光电：公司核心产品包括光刻机光学组件，互动平台表示暂未向上海微电子供货，市场推测可能通过新凯来、智慧星空等二级供应商向上海微电子供货。
- 福晶科技：全球唯一实现KBBF晶体量产，占上海微电子采购量60%，联合研发EUV光源系统，获战略投资。
- 创元科技：全资子公司江苏苏净在精密净化领域颇具实力，为上海微电子的合格供应商，曾与上海微电子有过业务往来。
- 英诺激光：公司是上海微电子合作伙伴，光源系统和激光器已进入上海微电子供应链名单。
- 富乐德：公司向上海微电子提供检测服务，目前已有订单。
- 苏大维格：公司已向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。
- 阿为特：公司已成为上海微电子、华海清科等知名公司的合格供应商，已具备高洁净度清洗、真空封装能力。
- 茂莱光学：公司向上海微电子供应光刻机光学镜片、投影物镜。
- 珂玛科技：公司为上海微电子等的主要核心陶瓷零部件供应商，主要提供先进陶瓷材料结构件产品及“功能-结构”一体模块化产品。
- 炬光科技：上海微电子是公司的客户；公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器。
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